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作为半导体制造中最关键的装备,很多网友都非常关注光刻机,毕竟它是最贵的,而且决定了CPU工艺的线宽水平,目前全球先进光刻机主要是ASML公司生产。那ASML的光刻机到底值多少钱?此前我们报道过他们的EUV光刻机,一台大概1.2亿欧元,约合10亿人民币,绝对是天价了,但三星、台积电还在抢着买。EUV光刻机之前,ASML目前的主力其实还是DUV光刻机,使用的是193nm的深紫外光刻技术,也有多种型号,这又该值多少钱呢?这几天网络报道了投资上千亿的武汉弘芯半导体烂尾的消息,此前该公司规划投资200亿美元,先后建设14nm及7nm工艺生产线,其中使用的就是ASML公司的TWINSCANNXT:1980Di光刻机。这台DUV光刻机还是全新的,它能值多少钱?现在因为资金断裂,这台光刻机已经抵押给了武汉
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